• 規(guī)格：900x700x604mm
• 品牌：中圖儀器
• 用途：測量精密工件的微觀形貌

SuperView W1白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

技術(shù)指標(biāo)

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

2D參數(shù)表

3D參數(shù)表

在生產(chǎn)中，微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評價(jià)具有直接的影響，為了能反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量，表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。SuperView W1白光干涉儀用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)，用于樣品表面微觀形貌檢測?？梢赃_(dá)到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。

廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中，可以說只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。獲取報(bào)價(jià)請電議，或者訪問中圖儀器與我們?nèi)〉寐?lián)系。

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