• 規(guī)格：XY氣浮移動(dòng)臺(tái)
• 品牌：北京昌達(dá)科技
• 用途：

精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有高精度、無(wú)摩擦、低污染等特點(diǎn)，在光刻技術(shù)、超精密加工、生物檢測(cè)技術(shù)、納米表面形貌測(cè)量等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用，是各種領(lǐng)域中精密加工和精密檢測(cè)設(shè)備中的重要部件。近年來(lái)微電子技術(shù)、信息技術(shù)及生物工程等新興科技領(lǐng)域的發(fā)展。精密氣浮平臺(tái)終可達(dá)到較高的定位精度和同步精度。靜壓氣浮軸承的主動(dòng)控制技術(shù)及其在精密氣浮平臺(tái)中的應(yīng)用。采用主動(dòng)控制技術(shù)調(diào)節(jié)氣浮軸承的供氣壓力控制氣體薄膜的厚度。由此設(shè)計(jì)了一種靜壓氣體薄膜驅(qū)動(dòng)的微動(dòng)平臺(tái)。將主動(dòng)控制技術(shù)應(yīng)用于平面精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可以使工作臺(tái)在XY平面運(yùn)動(dòng)之外，具備Z方向的微行程精密運(yùn)動(dòng)能力。通過(guò)主動(dòng)控制可對(duì)工作臺(tái)Z方向的位置誤差進(jìn)行補(bǔ)償，同時(shí)也可以實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)在Z方向的精密定位。

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