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全自動光學(xué)影像測量儀(GM-6050A)

全自動光學(xué)影像測量儀(GM-6050A)光罩技術(shù)的GM超高精度影像式測量儀系列，為七海之光罩技術(shù)制造而成，此技術(shù)已獲美國、臺灣及大陸等地區(qū)的發(fā)明和創(chuàng)新。此類機種的精度幾乎不受機械誤差及阿貝誤差影響，尤其是X、Y軸行程在600mm×500mm以上的機型，無論是XY軸向精度，還是XY平面坐標(biāo)精度皆能在5μ內(nèi)，其精準(zhǔn)度比所有百萬價值內(nèi)的德國、日本或其它國外進口的機器更精準(zhǔn)。


『參數(shù)』：

重現(xiàn)性<0.002mm
臺面大小700*650mm

解析力標(biāo)準(zhǔn)0.001mm
機臺重量750kg(包括機架)

平面精度3.5+5L/1000µm
影像放大倍率20x-120x30x-225x

示值精度(X、Y）3+5L/1000µm
光學(xué)放大倍率0.65X-4.5X

工作行程(X/Y/Z)600*500*200mm1000*800*200mm
CCD專用彩色1/3英寸高解析480TV線

外形尺寸(WxDxH)1250*808*1680mm
可選配置無死角旋轉(zhuǎn)燈

測量范圍(X*Y*Z)600*500*100mm
工作行程811*1250*1680mm

影像攝取系統(tǒng)sony芯片高解析彩色CCD
測量理論晶元光罩坐標(biāo)系統(tǒng)

鏡頭SEVENOCEANOPTICAL自動變焦鏡頭控制系統(tǒng)全自動閉環(huán)控制系統(tǒng)，日本松下PANASONIC伺服閉環(huán)控制系統(tǒng)
工作臺結(jié)構(gòu)00級花崗巖
儀器結(jié)構(gòu)00級花崗巖

電源220V50±5HZ
功率1KV

溫度范圍20±5℃1℃/h2℃/24h1℃/m
濕度40％-70％

震動<30HZ
工作臺承重3-5KG均布
『技術(shù)：晶元光罩技術(shù)——多國發(fā)明』：

◇　純軟件工作平臺
◇　特殊光學(xué)技術(shù)無阿貝誤差
◇　非龍門式大型外架設(shè)計，動量降至，無剛性不足與運動遲滯之問題
◇　平面坐標(biāo)測量
◇　不需要光柵尺、不需要編碼器
『測量軟件』：
※　CNC電動桌面（以軟件功能控制工作臺面，增加操作人員使用上及操作上的方便性）
※　有強大的環(huán)形、矩形陣列功能，并能運行CNC自動測量。
※　CNC自動測量編程：可以自定義控制表面光（上燈光源）、穿透光（底光）、各種角度光（旋轉(zhuǎn)燈）、CCD對比度來做CNC自動測量，避免了以前用底光做CNC的局限性。
※　CNC自動測量編程：可以編程有高度差的測量，并且可以自定義客戶坐標(biāo)進行編程與保存。
※　存檔照片輸入與實時影相中的實際工件進行對比功能
※　實時影像中可任意設(shè)置坐標(biāo)原點(0,0)
※　輸出到AutoCAD圖形自動擺正功能
※　可輸入AutoCAD的標(biāo)準(zhǔn)工程圖進入實時影像中與實際工件對比功能
※　鳥瞰功能：可檢視當(dāng)前繪圖位置
※　直接用鍵盤輸入圓及線段功能
※　直接畫線、圓、弧時，可以同時在AutoCAD及本測繪儀軟體中同時生成相應(yīng)的圖形
※　強大的去毛刺功能，可以自動抓取線、圓、弧，減少了人為測量造成的誤差。
※　智慧型取R角功能
※　測量系統(tǒng)：對物體的長寬及線、圓、弧、角度等進行測量與標(biāo)注
※　繪圖系統(tǒng)：畫線、圓、弧及線段之垂直線、水平。
※　亦可修改圖形，并將圖形輸入到AutoCAD
※　圖形輸入到AutoCAD中，可將當(dāng)前影像拍下以JPEG格式儲存
※　自動尋邊，自動捕捉
※　XY可移動平臺：可轉(zhuǎn)動X、Y軸向，前后左右移動桌面，避免用手移動工件，造成檢測誤差
※　輔助對焦：使畫面達到佳清晰度
※　自動對焦：電腦自動判斷影像的佳清晰面。
影像測量儀

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