• 規(guī)格：定制
• 品牌：峰創(chuàng)
• 用途：手術(shù)室凈化工程

凈化工程要什么控制溫度濕度

  凈化工程凈化室的溫度濕度主要是按照您的加工工藝請求來判斷，在滿意加工技術(shù)的標準下，應該思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請求的發(fā)展，技術(shù)對溫度濕度的請求也愈來愈高，必須到達必定的溫度濕度等級。比如在大規(guī)模集成電路出產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱脹大系數(shù)的差請求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導致了0.24um線性脹大，所以有必要有±0.1度的控溫，一起請求濕度值一般較低，由于人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這類車間不適合跨越25度。

  濕度過高發(fā)生的問題更多。相對濕度超越55%時，冷卻循環(huán)水管壁上會起霜，倘若發(fā)生在精細裝置或電路中，就會造成各類安全事件?？諝鉂穸仍?0%易長銹。凈化工程要操縱溫度濕度具體有啥措施?

  可是有關大部分凈化空間，為了避免外部污染入侵，要求堅持內(nèi)部的壓力(靜壓)高過外界的壓力(靜壓)。壓差的保持一般應契合下列準則：

  1.潔凈度等級高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度等級低的空間的壓力。

  2.連通凈化室之間的門要開向潔凈度等級高的房間。

  3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

  壓力差的維持依托新風量，這個新風量能夠抵償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。因此壓差的物理含義就是漏泄(或浸透)風量經(jīng)過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

  關于亂流凈化室因為關鍵靠空氣的稀釋作用來緩解室內(nèi)污染的程度，因此關鍵用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下請求;

  1.送風口出口氣流速度不適合太大，和單純空調(diào)房間比較，請求速度衰減更快，分散視點更大。

  2.吹過水平面的氣流速率(比如側(cè)送時回流速度)不適合很大，防止吹起表層微粒重回氣流，而產(chǎn)生再污染，這一速率一般不適合大干0.2m/s。

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