系統(tǒng)放大倍率和分辨率

幾何放大倍率

2100x

總放大倍率

>23000x

細(xì)節(jié)分辨率

小于1微米

亞微米X射線管

類(lèi)型

開(kāi)放式微米管、透射管頭、170度輻射角、準(zhǔn)直功能

管電壓

160KV

管功率

20W

靶

載體鎢靶，并可旋轉(zhuǎn)以多次使用

燈絲

鎢絲，經(jīng)預(yù)調(diào)的即插式結(jié)構(gòu)，更換簡(jiǎn)單快捷，20分鐘內(nèi)完成

真空系統(tǒng)

無(wú)油式低真空泵＋渦輪分子真空泵

探測(cè)器

數(shù)字成像鏈

高分辨率4”雙視野圖像增強(qiáng)器2M像素高分辨率數(shù)字相機(jī)

操控平臺(tái)

總體結(jié)構(gòu)

高精度抗震動(dòng)、5軸同步驅(qū)動(dòng)

檢測(cè)范圍

410mm×410mm

工件尺寸/重量

410mm×410mm/5kg

ovhm-斜角視圖旋轉(zhuǎn)

可調(diào)視角70°，n×360°

操控

操縱桿控制或鼠標(biāo)(手動(dòng)模式)和數(shù)控編程控制(自動(dòng)模式)

軸速(X-Y-Z)

10μm/s到80mm/s

操控輔助功能

X射線影像導(dǎo)航圖，點(diǎn)擊移動(dòng)功能，點(diǎn)擊放大功能，自動(dòng)保持視野中心功能，激光定位瞄準(zhǔn)

防碰撞系統(tǒng)

防止檢測(cè)樣品與射線管產(chǎn)生碰撞

圖像處理軟件

phoenix x|act base

的X射線圖像分析軟件

包含圖像對(duì)比增強(qiáng)和濾波功能、測(cè)量功能、數(shù)控編程功能

bga|module

BGA焊點(diǎn)自動(dòng)檢測(cè)功能

vc|module

空隙面積比自動(dòng)計(jì)算，包括多芯片的貼裝空隙檢測(cè)功能

系統(tǒng)尺寸

尺 寸 (W x H x D)

1800mm×1900mm×1815mm（不包括控制臺(tái)）

高度可調(diào)控制面板

400mm

重量

2050kg

輻射防護(hù)

防護(hù)

鉛鋼防護(hù)結(jié)構(gòu)與鉛玻璃窗的屏蔽室

輻射泄漏劑量率

<1μSv/h，符合

硬件選項(xiàng)

傾斜/旋轉(zhuǎn)裝置

傾斜±45°和旋轉(zhuǎn)n×360°，工件重量為2kg

輔助定位裝置

十字線激光

旋轉(zhuǎn)臺(tái)用PCB板支架裝置

載板尺寸310mm×310mm (12×12)

XY-平臺(tái)

增大檢測(cè)區(qū)域?yàn)?10mm×510mm (20×20) (不使用旋轉(zhuǎn)臺(tái))