系統(tǒng)放大倍率和分辨率

幾何放大倍率

2100x

總放大倍率

>23000x

細節(jié)分辨率

小于1微米

亞微米X射線管

類型

開放式微米管、透射管頭、170度輻射角、準直功能

管電壓

160KV

管功率

20W

靶

載體鎢靶，并可旋轉(zhuǎn)以多次使用

燈絲

鎢絲，經(jīng)預(yù)調(diào)的即插式結(jié)構(gòu)，更換簡單快捷，20分鐘內(nèi)完成

真空系統(tǒng)

無油式低真空泵＋渦輪分子真空泵

探測器

數(shù)字成像鏈

高分辨率4”雙視野圖像增強器2M像素高分辨率數(shù)字相機

操控平臺

總體結(jié)構(gòu)

高精度抗震動、5軸同步驅(qū)動

檢測范圍

410mm×410mm

工件尺寸/重量

410mm×410mm/5kg

ovhm-斜角視圖旋轉(zhuǎn)

可調(diào)視角70°，n×360°

操控

操縱桿控制或鼠標(手動模式)和數(shù)控編程控制(自動模式)

軸速(X-Y-Z)

10μm/s到80mm/s

操控輔助功能

X射線影像導(dǎo)航圖，點擊移動功能，點擊放大功能，自動保持視野中心功能，激光定位瞄準

防碰撞系統(tǒng)

防止檢測樣品與射線管產(chǎn)生碰撞

圖像處理軟件

phoenix x|act base

的X射線圖像分析軟件

包含圖像對比增強和濾波功能、測量功能、數(shù)控編程功能

bga|module

BGA焊點自動檢測功能

vc|module

空隙面積比自動計算，包括多芯片的貼裝空隙檢測功能

系統(tǒng)尺寸

尺 寸 (W x H x D)

1800mm×1900mm×1815mm（不包括控制臺）

高度可調(diào)控制面板

400mm

重量

2050kg

輻射防護

防護

鉛鋼防護結(jié)構(gòu)與鉛玻璃窗的屏蔽室

輻射泄漏劑量率

<1μSv/h，符合

硬件選項

傾斜/旋轉(zhuǎn)裝置

傾斜±45°和旋轉(zhuǎn)n×360°，工件重量為2kg

輔助定位裝置

十字線激光

旋轉(zhuǎn)臺用PCB板支架裝置

載板尺寸310mm×310mm (12×12)

XY-平臺

增大檢測區(qū)域為510mm×510mm (20×20) (不使用旋轉(zhuǎn)臺)